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德國PI PicoCube XY(Z)壓電掃描儀 X、Y向上的串擾(Z向運動) 5 - 納米 機械特性 X、Y向上的空載諧振頻率 3.1 4.2 千赫茲 Z向上的空載諧振頻率 9.8 - 千赫茲